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    微納米光學

    AFM SNOM/Nano IR,基于AFM高精度場強表征

    亞納米形貌、電學、力學性質綜合表征

    臺階高度測試、2D應力測試(可擴展3Dmapping型號)

    器件輪廓測試、膜厚測試

    器件寬粗糙度測試、表面輪廓形貌表征、應力應變測試

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